1、采用日本進(jìn)口原裝發(fā)振器和振動(dòng)板,不做任何更改即可使用不同頻率機(jī)型。
2、750/950KHz兩種頻率可選,可提供6/8/12寸晶圓尺寸的清洗功率。
3、清洗均勻,利用105G加速度和化學(xué)作用去除微米級(jí)顆粒。
4、四種發(fā)振模式,使高精密清洗成為可能。
5、1W為輸出功率單位,更易于控制清洗損傷。
6、1臺(tái)即可對(duì)應(yīng)從低頻到高頻等多種頻率,替換振子時(shí)發(fā)生器無需再做調(diào)試。
7、采用優(yōu)等級(jí)316不銹鋼板材制作,根據(jù)用途可制作石英槽,不銹鋼清洗槽。
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